传感器是一种可以获取有用信息并将其转换成可用信号的特殊装置，它在信息处理系统中占有十分重要的地位，广泛应用于生产、科研和生活的各个领域。悬臂梁传感器结构是最简单的微结构，利用它可以探测到极小的位移或质量的变化，这使得微悬臂梁成为高精度高灵敏传感器的理想选择。
由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁传感器，通过在其表面修饰以生化敏感层，能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应，配合以信号采集电路和测量系统，能够达到很高的灵敏度和精度。回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程，介绍悬臂梁的工作原理，微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点，总结了世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新动态，并且展望微悬臂梁传感器这一新领域的应用前景。微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点获得了越来越多的研究与应用，为生化物质的检测提供了一种新方法，具有诱人的应用前景和很大的市场潜力。但是微悬臂梁传感器还存在许多问题，如检测的可靠性与灵敏度有待提高，如何实现定量分析等。微悬臂梁传感器的一个重要发展方向是将其与分析化学、计算机、电子学、材料科学与生物学、医学等交叉，可以组建芯片实验室，实现化学分析检测，有可能导致化学分析领域的一场革命。
