KLA-Tencor 公司电子束技术事业群副总裁兼总经理 Cecelia Campochiaro 博士表示：“电子束检测凭借其超凡的分辨率、材料对比灵敏度和侦测隐藏电气缺陷的能力，能够在集成电路开发与生产中提供独具特色的价值。eS805 可用于侦测只有通过电子束检测才能发现的缺陷，也能够为晶圆厂的光学检测系统提供补充信息，以期提高光学检测仪快速捕捉关键缺陷的能力。”
KLA-Tencor 公司晶圆检测集团与全球运营执行副总裁 Mike Kirk 博士补充道：“随着我们的客户逐渐接近个位数纳米设计规则，他们将需要针对关键缺陷有着前所未有的灵敏度，同时抽取足够数量的晶圆以捕捉缺陷偏移。我们相信光学检测仍将继续被作为主要的缺陷检测手段;它的速度对于覆盖足够范围的晶圆是必不可少的。
并且，我们的工程师已经提出一些值得佩服的提高光学灵敏度的设计理念，以满足我们客户的预期要求。根据需要，电子束检测将继续配合光学检测，同时我们将继续在速度、应用范围和新方法方面创新我们的电子束系列产品。新型 eS805 代表了 KLA-Tencor 在不断发展电子束/光学缺陷检测解决方案方面所取得的重大进步，为我们业界领先的光学缺陷检测/电子束检测系列产品增添了宝贵的一员。”
新型 eS805 的卓越性能具有下述优势：
新型图像计算机、新型自动对焦子系统以及比市场上其他系统更高的电子束电流密度，能够在相对大面积的晶圆上以“电压对比”(“VC”) 模式侦测隐藏的电气缺陷;
其体系设计可以从隐藏在诸如 FinFET 和 3D flash 等大高宽比 (HAR) 结构底部的缺陷中引出明显信号;
以及与新型图像计算机及自动对焦系统相配合的高级算法，有效捕捉诸如逻辑单元区域等非周期结构内微小缺陷;
eS805 可以从以前的任何 eS3x 或 eS8xx 系列电子束检测系统升级，这样有助于保护工厂的资本投资。
新型 eS805 电子束检测系统已经向领先的逻辑电路与内存芯片制造商出货，用于升级现有电子束检测系统，或者满足先进的开发与生产线上的额外检测能力之需。为了保持高性能和高产能，eS805 检测设备由 KLA-Tencor 的全球综合服务网络提供支持。
