12英寸国产等离子刻蚀机进入中芯国际生产线

    北方微电子公司自主研制的12英寸NMC 612高密度等离子刻蚀机正式搬入中芯国际北京工厂生产线。

    作为中国本土企业自主研发的12英寸超大规模集成电路前工序核心设备，NMC 612以满足90-65纳米硅刻蚀工艺需求为目标，以提升产品工艺性能和降低成本消耗为设计理念，该设备集成了多组先进部件，具备先进工艺控制及故障诊断功能，从而保证了设备较高的可靠性和可维护性。基于北方微电子公司良好的本土化加工制造基础和畅通的零部件供应渠道，该设备成本也得到大幅度降低。

    中芯国际北京工厂是中国内地建设的第一条12英寸超大规模集成电路生产线，具备12英寸65纳米的工艺技术代工能力。北方微电子12英寸刻蚀机将主要应用于90-65纳米硅栅刻蚀和浅槽隔离刻蚀等工艺制程。