MEMS元件采用了许多与电子芯片相同的制造技术，包括一系列不同应用的传感器与驱动器 (actuators);这些元件并不是新发明，其历史甚至与IC差不多，不过多年来它们一直锁定工业、汽车等应用领域，直到消费电子产业在智能手机、平板电脑等产品内固定采用MEMS传感器，才引爆市场对该元件的大量需求，也开创MEMS元件的新应用。
MEMS传感器、曝光传感器等等，已迅速成为取代人类“五感”的电子元件;特别报导指出，MEMS市场的高成长性吸引了众多厂商涉足或重新涉足该领域，而传统IC产业的无晶圆厂业务模式，也开始对MEMS产业产生影响──尽管两种产业的技术背景与所面临的挑战大不相同。
该报告总结指出，MEMS是扮演改革推动者角色的一种技术，能把电子产品的消费化转换为它所带来的个人化;未来我们将看到MEMS元件更多样化，以及成为在真实世界与电子领域之间的入口。
“能为人们提供更高生活品质的MEMS新应用，是最令人感到兴奋的;”MEMS Industry Group管理总监Karen Lightman表示，MEMS传感器可针对医疗诊断与复健应用提供监测功能，或是在植入装置中透过MEMS驱动器为病患投药…MEMS可带来的各种拯救生命、改变人们生活的新技术，可说是永无止尽。
