MEMS（微机电系统）整合了电子技术与机械结构的综合优势，利用硅材料的机械特性和半导体制程实现较低的成本和较高的产量。MEMS领域的代表厂商意法半导体（STMicroelectronics）通过陀螺仪、MEMS麦克风、磁传感器等产品为多个细分市场提供高性能技术方案；最新的iNEMO系列多传感器惯性测量单元（IMU）进一步扩展了产品线及潜在市场，使其成为“一站式“MEMS器件提供商。
iNEMO：“一站式”智能传感方案
将不同的传感器集成，并赋予数据处理功能已成为目前的主要技术趋势之一。意法半导体近日推出的iNEMO方案整合了传感器、数据处理能力，和数据传输功能。首款iNEMO模块STEVAL-MKI062V1集成了6个不同的传感器和一个32位微控器（mcu）；最新产品（v2）又添加了复杂的传感器融合算法 - “姿态方向参考系统（AHRS）”，用于提供动静态方向和惯性测量功能；该算法由STM32微控器负责。
意法半导体产品部门副总裁，兼MEMS、传感器和高性能模拟器件产品部总经理Benedetto Vigna先生透露，目前意法半导体的陀螺仪、磁力传感器、加速计等产品会在未来一两年内在尺寸和智能性上有更大突破，如推出超低功耗方案和增加先进的数字处理能力；再下一步的重点是这些传感器的集成解决方案。
