SUNX上市通过流量差检测微小压力变动的传感器

   日本神视（SUNX）于2006年9月1日上市通过流量变化来检测压力变动的传感器“数字流量传感器FM-100”系列产品。之所以采用检测流量变化来检测压力，是因为流量的变化量要大于压力的变化量，更容易检测的缘故。能够高精度地检测以前的压力传感器难以察觉的微小压力变动。适用于自动组装设备、电子部件制造装置以及半导体制造装置。  

   外形尺寸方面，口径4mm的型号为17×37×55mm。重量约为70g。虽然体型小巧，但借助白金芯片以及新机构的整流方式，能够实现高精度检测。线性为±5％F.S.。可用于无论正压或负压的吹洗气体管理以及吸附管理。  

   适用流体方面，除了符合JIS B 8392-1.1.2～5.6.2标准的清洁空气之外，还有符合JIS B 8392-1.1.2～1.6.2标准的压缩空气、氮气。此次产品种类共有从额定流量范围为50m～500mL/分的“FM-152-4”直至10～100L/分的“FM-115-AR4”等7种型号。