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效法摩尔定律 LED晶圆制造开启大尺寸竞赛

    继6寸晶圆产线陆续启动后,发光二极体(LED)制造商已投入8、12寸晶圆的研发,如普瑞光电(Bridgelux)即成功以8寸矽晶圆制造的矽基氮化镓(GaN-on-Silicon)LED,而蓝宝石基板供应商Monocrystal和Rubicon也分别开始供应8寸和12寸蓝宝石晶圆,显见未来两年LED晶片产出量将以类似摩尔定律(Moore’s Law)的成长速度剧增。

    普瑞光电执行长Bill Watkins表示,矽基氮化镓LED的成本结构大幅优于现今以蓝宝石或碳化矽作为基板的LED制造技术。

    普瑞光电此次所发表的矽基氮化镓LED,发光亮度已达每瓦135流明的商用等级,该公司执行长Bill Watkins表示,这项突破显示普瑞在矽材料与磊晶制程技术的专业能力,将可显著降低矽基氮化镓LED制造的成本结构,并大幅缩减固态照明所需的前期资本投资。预期在2~3年内,即使是价格敏感度最高的应用市场,如商业和办公室照明、住宅与改良式灯泡等,都可无缝且快速转换至固态照明。

    不同于以蓝宝石为基板的氮化镓LED技术,普瑞光电的矽基氮化镓LED可与既有的半导体制程相容,且比采用蓝宝石基板的技术节省约75%的成本,相当适合在现今已折旧完的8寸晶圆厂进行生产,因此普瑞光电已与全球几家8寸晶圆代工厂展开洽谈事宜。

    与此同时,蓝宝石基板供应商也积极朝向8寸与12寸晶圆世代迈进。总部设于俄罗斯的LED蓝宝石基板制造商Monocrystal已宣称将开盒即可用(Epi-ready)的8寸C-plane蓝宝石基板出货给全球领先的LED制造商用于研发工作。该公司执行长Oleg Kachalov指出,LED市场激烈的竞争将促使LED制造商导入更大尺寸的晶圆,因此,相较于6寸蓝宝石基板问世后3年后,才有LED厂用于生产研发,8寸基板导入研发的时程已明显缩短。

    据了解,Monocrystal在2008年8月即发布8寸蓝宝石晶圆并出货给有机金属化学气相沉积(MOCVD)设备商,如今则已开始提供LED制造大厂进行生产研发,前后仅经过两年多的时间,显见LED制造商对导入大尺寸晶圆量产的积极度。

    另一家蓝宝石基板制造商Rubicon也于日前宣布开始生产12寸抛光蓝宝石晶圆。该公司执行长Raja Parvez强调,由于Rubicon具备独特的先进制程技术,因而可实现高品质、大直径蓝宝石晶圆的量产,可因应LED在一般照明及消费性电子市场快速成长的需求规模。而随着新产品的推出,Rubicon的蓝宝石基板产品组合也将完整涵盖2寸、3寸、4寸、6寸、8寸及12寸等不同尺寸范围。

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