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半间距9nm的最小ReRAM单元亮相

    台湾NATIONal Nano Device Laboratories与美国加州大学伯克利分校(University of CALIfornia,Berkeley),共同开发出半间距极小仅为9nm的可变电阻式存储(ReRAM)单元,并确认了其功能(演讲序号19.1)。

    该单元在实现非易失性可变电阻材料上采用了过渡金属氧化物(TMO)类的钨氧化物(WOx)。并且,为便于9nm工艺的微细加工,在上部电极和布线上使用了名为“Nano InjecTIon Lithography”的光刻技术。据称,此前的学会发布成果中,还没有过利用30nm以下工艺微细加工技术的TMO类ReRAM单元。该成果一举将微细化推进了好几代。有观点认为,“ReRAM与其他新型非易失性内存相比,材料容易加工。由此将推进单元实现小型化”(听了此次演讲的日本内存技术人员)。

    此次的ReRAM单元所需的写入电流不到1μA,“在目前推出的ReRAM中是最低的”(National Nano Device Laboratories)。随单元的面积减小,写入电流也会随之削减。1μA这一数值“非常低,完全可以满足9nm工艺所要求的写入电流值”(National Nano Device Laboratories)。开启时与关闭时的电阻比值均约为10。

    关于TMO类ReRAM,由于其与三维CMOS技术的兼容性优异,因此将其作为新一代非易失性内存的研究日益活跃。

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