网站首页
IC库存
IC展台
电子资讯
技术资料
PDF文档
我的博客
IC72论坛
ic72 logo
资料首页最新产品 技术参数 电路图 设计应用 解决方案 代理商查询 IC替换 IC厂商 电子辞典
关键字: 技术文章 PDF资料 IC价格 电路图 代理商查询 IC替换 IC厂商 电子辞典

硅CMOS技术可扩展到10nm以下

    “硅CMOS技术完全可以扩展至10nm以下。如果能够充分导入三维NAND闪存技术、可变电阻式存储器(ReRAM)以及EUV曝光技术等新构造、新材料和新工艺,硅CMOS技术将继续保持其主导地位”。

    半导体制造技术国际会议“2010 IEEE InternatiONal Electron Devices Meeting(IEDM 2010)”于2010年12月6日在美国旧金山开幕,韩国三星尖端技术研究所(SAMSung Advanced Institute of Technology,SAIT)所长Kinam Kim在整场演讲中率先上台,充满自信地发表了本文开篇那番话。

    在DRAM和NAND闪存等方面,目前正在探讨伴随制造技术微细化而出现的多种技术课题。Kim呼吁与会人士必须勇敢面对这些课题,并在今后通过导入多种新技术来加以克服。

    在不少人认为难以微细化至20nm以下工艺的DRAM方面,Kim表示2010~2015年,在4F2构造存储器单元、硅贯通电极(TSV)以及DRAM芯片上集成光输入输出电路等将取得进展。并预计接下来在2020年以后,通过自旋存储器(Spin-Based Memory)技术的实用化,大容量随机存储器将继续取得进步。

    在有人认为现有浮栅构造同样会在20nm工艺前后出现微细化极限的NAND闪存方面,Kim介绍了旨在打破极限的技术开发工作。首先,要想实现相当于20nm以下工艺的高集成化,就必须导入三维单元积层技术。Kim表示,由此“可以利用旧几代的制造技术,实现与普通二维单元微细化至10nm以下工艺范围时相当的高集成度”。

    Kim指出,2015年以后作为三维NAND闪存的后续产品,主角将有可能转为采用氧化物材料等的新型非易失性存储器。Kim高度评价了ReRAM的前景,认为“后NAND闪存的最有力候补是ReRAM。另外,在新一代通用存储器(Universal Mmemory)中最有希望的估计还是ReRAM”。

热门搜索:PDU1215 PS-615-HG 02T0500JF BT05-F250H-03 SBB8006-SS-1 EURO-4 01T5001JF 2839224 TLP76MSG 01B1001JF 2920120 1553DBPCB SS480806 TRAVELER3USB 6SPDX-15 PS-415-HGULTRA 2811271 BT152-500R/600R 02T5000JF 2882828 PS-615-HG-OEM 2320306 02B1001JF 8300SB2-LF TLP712B
COPYRIGHT:(1998-2010) IC72 达普IC芯片交易网
客户服务:service@IC72.com 库存上载:IC72@IC72.com
(北京)联系方式: 在线QQ咨询:点击这里给我发消息 联系电话:010-82614113 传真:010-82614123
京ICP备06008810号-21 京公网安备 11010802032910 号 企业资质