几种常见气体传感器的研究进展

气体传感器日渐发展，其应用的范围越来越广，特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛。简要介绍了各种气体传感器的工作原理，并对常见几种有毒性气体（一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物）和可燃性气体（氢气、甲烷）的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍，同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望。