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SEMI发布8项新技术标准

    SEMI发布了8项应用于半导体、MEMS、FPD和光伏制造产业的新技术标准。这些新的标准由参与SEMI国际标准项目的设备材料供应商、器件制造商的技术专家开发制定,

    这些新标准是:

    SEMI T20.3,半导体及相关产品鉴定的服务通讯规范

    SEMI E158,用于传送和储存450mm晶圆的晶圆传送设备的机械规范

    SEMI M76,450mm抛光单晶硅晶圆开发规范

    SEMI D60,FPD极化薄膜及材料表面抗刮伤特性的测试方法

    SEMI E156,450mm晶圆储存传送界面的机械规范

    SEMI E157,模组工艺跟踪的规范

    SEMI D59,3D显示术语

    SEMI PV4,用于薄膜光伏的第五代衬底尺寸范围的规范

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