世界半导体生产设备市场经历了2009年的惨跌46%之后，2010年将强劲反弹76%，达294亿美元。展望未来，2010-2014年间仍将以年均44.4%的高速度增长，达到359.7亿美元。预计2013年还会遇挫，总的增长趋势已稍见平稳，不如上个增长周期。
近期半导体业的迅猛增长，推动了半导体生产设备市场的快速复苏，存储器、代工业的发展以及进一步走向微细化先进技术的要求，则是主要的拉动力量。在各项生产设备中晶圆生产线（wafer fab）设备最为重要，增长也最快，2010年将窜升76.7%，达229亿美元，独占半导体生产设备的78%，整个半导体业投资的近57%。组装设备增长75.5%，达41.8亿美元，自动测试设备增长72%，达22.7亿美元。其他有关投资增长19.4%，达110.6亿美元，整个半导体业投资共增长55.9%，达到404.3亿美元。
又据FBR市场调研公司发表的报告，世界半导体业的总投资额2009-2011年分别为257亿美元、406亿美元和495亿美元，和Gartner公司所报基本相同。该公司又称，这3年世界最大25家半导体公司的投资，占到整个半导体业投资的近90%。
