由沈阳市科技局组织沈阳浑南新区科技局申报的“沈阳集成电路装备产业化基地”项目，日前被正式批准为“沈阳国家集成电路装备高新技术产业化基地”，这是目前科技部认定的唯一一个国家集成电路装备产业化基地。
目前，沈阳集成电路装备产业基地内集聚了一大批专业技术人才，培养出了多个优秀技术团队，建有集成电路装备检测、精密零部件加工和洁净技术平台，拥有目前国内唯一的集成电路装备孵化器，在孵企业30余家，初步形成了从关键集成电路装备零部件加工、子系统研制到单元和整机制造的全面发展格局。
