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机台交期延 DRAM厂制程微缩绊脚石

    2010年台DRAM厂将决战50和40奈米制程技术,但新制程关键恐未必在技术上,而在于浸润式微显影(ImmersionScanner)机台设备采购是否能跟上脚步,近期业界传出瑞晶机台原本2月要交货,但目前交期已递延至4月,南亚科和华亚科之前亦传出机台交货不及,公司则澄清前期机台已顺利拉进来,转换制程进度一切正常。

    DRAM厂决战50和40奈米制程技术最大挑战是资金问题,其中,机台购置成本占相当大比重,由于1台机台设备动辄要价新台币10亿元,且每台机器产能约仅1万片,若1座产能达10万片的12寸晶圆厂要转换制程,光是机台支出便高达100亿元,因此,大部分DRAM厂2009年都无力转进50奈米制程。

    随著DRAM景气逐渐复苏,各厂开始为转进50奈米制程做准备,并针对机台下订单,由于从下订到交货需要很久时间,日前甚至传出三星电子(SamsungElectronics)将设备厂机台产能都包下,使得其它DRAM厂很难订到货,趁机阻碍竞争对手制程微缩进度,尽管台厂与国际大厂联合采购机台较具优势,象是南亚科、华亚科与美光(Micron)共同采购,力晶、瑞晶则与尔必达(Elpida)一起采购,但仍不断传出交期递延消息。

    瑞晶原本2月要到货的机台已递延至4月交货,其计划第2季将导入45奈米制程;之前则传出南亚科和华亚科机台交期延后,但公司澄清前期机台到货时程顺利,只剩下后期机台还未进来,但不会影响转换50奈米制程速度。事实上,瑞晶原评估旗下8万片12寸晶圆产能转进50奈米制程需要10台机台,但若转入45奈米制程,在减少光罩数后,只需要6台机台,公司形容这是穷人版制程微缩产品。

    尔必达阵营原本2009年评估要导入50奈米制程时,就预定机台设备,但后来决定跳过50奈米,直攻45奈米制程,机台拉货则同步进行。尔必达和力晶、瑞晶2010年将一举转进45奈米制程,尔必达45奈米2009年底宣布量产,瑞晶将在第2季导入生产,2010年底前8万片产能全数转进45奈米制程,第1季会先转2万片产能到63奈米XS版本试水温,成本可较目前65奈米制程减少20%。

    至于南亚科和华亚科正积极转进50奈米制程,在42奈米制程则将提前1季导入,其系由美光和南亚科共同研发,该阵营对于42奈米制程相当具信心,认为是目前40奈米制程世代成本竞争力最佳者。

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