台湾MEMS制造商TMT（Touch Micro-system Technology）已经获得总部设在加州的制造商Miradia公司100 ％的股份，以利用后者的专利技术将其业务从基本的MEMS代工转变为MEMS调制解调器。这一转变很可能是台积电（TSMC）和联华电子（UMC）准备大举跨入MEMS生产行列的信号。
据悉，台积电和联华电子已在2008年下半年完成了MEMS相关设备的部署，预计即将在今年下半年开始批量生产。
