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IMEC发布太阳能、GaN和EUV领域新计划

    IMEC在SEMICON West上宣布,建立太阳能、GaN和EUV方面独立的新项目。

    在太阳能项目中,IMEC已经与太阳能设备和材料供应商建立了新的合作关系。这些合作开发协议被纳入到IMEC最近发布的基于硅晶片的光伏产业协作计划(industrial affiliation program,IIAP)中。作为多伙伴研发计划的一部分,并在IMEC总部所在地佛兰德政府的支持下,建造一条硅太阳能试产线。其中包括 MEMC Electronic Materials Inc.(MEMC)、Leybold Optics Dresden GmbH, Roth & Rau AG和Mallinckrodt Baker B.V.(MBI)。项目的初始目的是,允许该项目组能够在半工业化的环境下实施先进的太阳能电池工艺研发,并最终能使研发结果有效地直接转移到工业化的量产线上。

    在新的IIAP计划中,IMEC宣布也将重点开发应用于功率转换和固态照明的GaN技术。其目的是,基于大尺寸的(可达200mm)硅上GaN技术(GaN-on-Si ),开发高电压、低损耗、高功率转换的器件。其潜在应用包括太阳能转换器、发动机驱动、混合动力汽车等。

    IMEC还宣布,将扩展极紫外光刻(EUV)技术研发计划,并同时专注于EUV掩膜清洗研发项目,该项目将在IMEC和HamaTech APE GmbH & Co. KG之间展开。

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