CA:能否谈谈您的第一份工作?
AZ:我第一份工作是1960年在一家叫做AVCO的公司担任副研究员。当时我拿到了三家公司的offer,分别是Xerox、IBM和AVCO。我对AVCO公司印象较深刻的是它有一个部门离我在Medford的家很近,并且它在早上为员工提供一杯免费咖啡和多福饼,因此我很感兴趣。这是我所从事过的待遇最差的一份工作,不过我在AVCO所做的研究工作却很有意思。他们的研究领域有震激管、MHD、磁流体力学以及风洞,我对这些方面特别感兴趣。我成了AVCO物理部门的员工,并在那里度过了人生的四年半。我们的部分工作是再进入飞行器的熔蚀研究,我们还研究航空推进器,以及模拟核武器的辐射。对我来说那是一段极好的学习经历,对许多学科都有所涉及,最重要的是获得了气体放电、等离子方面的知识。
1964年,政府开始缩减国防开支,来自政府的研发经费明显减少,所以我认为换个工作可能比继续做军事应用研发项目更好,我开始寻找职业生涯的下一个工作。我清楚和我共事的那些博士们的工作效率很高,表现优秀,在那里我应该不属于最好的1%到2%,因此我决定改变职业路径,转战产业界。1964年年中我加入了GCA。
CA:您加入GCA时,进入的是半导体业务部门还是其它部门?第一台溅射系统又是如何诞生的?
AZ:那时GCA除现在众所周知的光刻之外,还进行许多方面的研究,他们在黑肺病、挖掘方面做了大量工作,并扩展到了其它领域,其中之一是真空领域。他们有一家公司对真空技术、碳化物真空热烧结、潜艇和航空母舰的核反应堆焊接方面做了大量研究,因此我进了这家公司。
后来他们开始探索其它技术领域,其中有一种技术叫溅射。我们在再入航天器和空间助力器方面遇到了麻烦,它们的阳极被溅射腐蚀了。我们在1966年做出了第一台溅射系统,我们自己制作电源,那时采用的是哈特利振荡器,有趣的是我发明了哈特利振荡器作为电源。
CA:您能谈谈那段时期的器件行业吗?它们有哪些要求?你们面临了哪些挑战?
AZ:那时人们常忽略的基础技术是NMOS和PMOS以及双极技术和超高电流器件。与今天相比,那时的成品率很差。60年代成品率一般只有1-2%,当成品率从2%提高到3%时,我们就会隆重庆祝一番,那是了不起的成绩。当时我认识了Hank Smith,他后来是MIT的教授,我参与了他1968年在MIT的林肯实验室对x射线光刻的研究工作。我还对IBM在1960年开发的C4工艺倒装芯片技术非常着迷。现在这个行业,特别是消费产品领域成了我生活中越来越重要的部分,但是IBM开辟了这个领域。那段时间是芯片行业非常有意思的日子,成品率很低、没有计算机设计,但技术却在进步。我们利用红宝石、大相机,光刻是接触式印刷,溅射对象是5英寸的晶圆……
CA:在GCA从事溅射研究之后您做什么工作呢?
AZ:1974年我离开了GCA,跳槽到一家叫做LFE即电子实验室的公司。LFE的创始人是我在GCA工作时认识的一位高管叫Herb Roth,毕业于西点军校,是一位很不错的领导,离职后创办了LFE。有好几次他想让我去LFE公司和他一起工作,我一直拒绝了。1974年从SEMICON West回来后,我情绪低落,主要和研发项目的资助有关。我认为要获得成功需要在开发PVD技术方面投入更多资金,而我没有从公司获得所必需的资助。那次我回家时Herb给了我电话,随后我们在Sheraton饭店一起吃早餐时他再次邀请我,使我下定决心加入LFE公司。我跳槽的主要原因不是为了赚更多的钱,而是为了挑战,即等离子刻蚀环境和等离子剥离光刻胶方面的挑战。
我在LFE管理一个部门,并使之成长壮大。我们部门的收入仅占公司总收入的15%,而利润却是公司总利润的85%。我在1980年离开的时候我们在等离子刻蚀技术和销售方面全球第一,那时这个领域全球共有64家公司,应用材料公司才刚刚进入那块市场。我们每月的出货量为30到40套系统,每台售价仅为1万到1.1万美元之间。
CA:回顾您在GCA和LFE度过的时光,那两段时期您学到了哪些东西?
AZ:我认为技术是我学得最好的地方,我对技术理解得相当好。我认为我还理解了一个新市场、新行业和各种人,并形成了自己的管理风格。在研究领域作管理和做实际研究工作不一样,研究只是发表论文和做实验以及获取更多的空军合同。我进入产业界时人们的立场完全不同,客户为王。因此我想这是我最大的收获,如何有效管理员工,如何让员工表现卓越,并将他们和我的风格结合起来。
CA:您为什么离开LFE?后来您去做什么工作了?
AZ:离职通常是当我感到事业不顺时。我离开LFE公司前又出现了研发经费问题,我用了很长时间才获得一百万美元的研究经费,但却不能聘请到人来研究。因此一方面我获得了拨款,另一方面我却不能支配这笔钱。那时我认为离开是不错的选择,也就在那时我决定可以自己试试,于是创办了Drytek。我拥有经验、能力、热情及专注,我和潜在投资者签署了合同,因此集资没有半点问题。1980年我成立Drytek公司,两年后我们成了世界第三,那时我们在美国、欧洲和韩国都有业务。全球60多家公司中我们排名第三,可见我们很成功。一批优秀的人才为我工作,我们为低成本设计、低成本制造创造了价值。
CA:你们怎么研发出第一个产品的?
AZ:我第一位合作伙伴、第一位员工是Joe Maher,Joe与我在LFE公司共事过多年。我们离职后购买了两块绘图板,在马萨诸塞州Redding市租赁了办公室。我们有两种设计,一种是单晶圆设计,另一种是多晶圆的垂直结构,后者是Joe的想法。后来我们还是回到了单晶圆,但一开始我们是用多晶圆,垂直堆叠的系统。四个月后我们有了气体放电项目,于是搬到了Bloomington的一个小地方,那家工厂后来迅速成长。关于我们如何起家真是一个很长的故事。我们是做了全部绘图,并跑到机械车间进行焊接和喷漆。我们自己加班加点和采购,都是自己做,我们的办公室只有两张绘图桌,这就是我们开始的情况。
后来我们请了一位秘书,再后来聘请了工程师,三个月内就有了五、六个人。接下来的一年我们成长非常迅速,每年出货大约有50~75台系统。公司从一无所有到对钱没有限制,真是让人兴奋的经历。
CA:你们与器件生产商有过哪些沟通?
AZ:我们做出机器后的第一件事是收集了一份六页的市场调查。大多数营销人员会叫你不要这样做,认为问题太多得到的回馈会很差,但我还是将调查发给了大约100位工程师和经理。问卷涉及绘图颜色、软件结果、产出问题、拥有成本问题、质流控制器、压力控制器,全部都谈到了,结果所有人在抽出时间填写问卷后都署名了。作为回报,我们给了他们不同领域的统计结果,他们因此知道了别人的想法。我们也将信息备录在案,若我要访问Fairchild,我会拿出Fairchild的研究报告,看看他们想知道什么,进一步对他们的主营业务加深印象,因此我们给了客户信心。这就是我们如何采用战略往市场中推广技术,并使我们的产品被很快接受。
CA:你们试过打入西海岸市场吗?
ZA:我们后来试过,但由于实力不够强,获得的业务没有希望的多。现在回想起来,如果我在这边安排多一点的力量,部分生产或者是兼并,我们就可能达到应用材料公司今天的地位。现在我们看看Lam Research和应用材料公司,要是我们到加州来开拓业务,那些公司可能达不到今天的地位。我们的地理布局有误,时机不差。后来我认识到波士顿地理位置的缺陷时,我意识到了这一点,这是我公司的一大障碍。即使在今天,这也是个问题。
CA:能否介绍Drytek公司的发展过程吗?你们的产品和公司是如何成长起来的?
AZ:我们一开始提供垂直堆叠电极,我们在1983年发明了集束型设备。那天Joe和我在Route 28的一家餐馆共进午餐,我们坐在桌旁,座位上有四个白色的盘子,我们正在讨论产率,低头看到碟子,我不确定是他还是我突然想到制作有四个盘子的集束型设备,因为我们遇到了垂直电极间串扰的问题。后来话题转到我们如何控制每块晶圆,使它们不会互相干扰。我们想把腔体分开,但用垂直腔体不能将晶圆垂直放置。后来看到桌上的四个盘子,我们说道,“在中央放一个机器人,周围做四个独立的腔体怎么样?”第一台集束型工具就是这样在马萨诸塞州Redding市的Route 28的一家餐馆内吃牛排的时候发明出来的。
83年我们开始研究集束型设备技术并获得大量应用。不仅用于多晶硅和氮化硅,还用来做铝和氧化物刻蚀,然后开始进行多层加工。我们开发了一个激光和点探测系统以及我们称为“四方仪”的机器。成果发表在《固态技术》的封面上,配有四个腔体的彩图。现在Lam Research、Novellus和应用材料及其他公司都采用同样的基本形式,无论是处理平板还是晶圆。这方面的研究不断加强,直到86年夏天我将公司卖给了通用信号集团。
CA:你们把公司卖给通用信号时,公司的员工数目和销售额有多少?
AZ:我们有两三百人,那时销售额约为3千万美元。加入新公司后我接管了更多公司。后来有人让我接手国际业务,我认为这会很有意思,是另一种挑战,因此我住到了New Hampshire。我的办公室在Stamford的Connecticut。接下来的两年半内我平均每天有八个小时在飞机上,我运作日本的业务,管理荷兰的工厂,我的责任很大,重组了所有的海外业务。
我记得1990年我决定从通用信号退休时,通用信号的董事会主席ED Carpenter打电话给我,希望我能帮他重整加州的公司Ultratech。我在管理国际业务小组的时候处理过海外产品,因此我了解Ultratech,我知道1980年这还是家好公司。因此我开始回顾历史,寻找哪里出了问题。回来后我向通用信号管理层演讲。
我分四个部分做了演讲。第一部分是我在那边所发现的内容,第二部分是我们如何发现问题,第三部分是有哪些选择,而最后是我的建议。很有意思,因为我是绝对坦率,很直白地说了我的发现,以及他们是如何毁了这家公司。随后他们让我去管理那家公司,1993年我和波士顿的TA Associates买了这家公司,年底Ultatech就上市了。
CA:我们现在来谈谈Ultratech,你完成管理层收购后你采取了哪些措施?
AZ:我想这么多年的经验累积形成了我对Ultratech的解决方案。我们接手了一个基础相当薄弱的公司,这个公司缺乏方向、缺乏管理、没有远景。因此我们从最基础做起,了解他们的核心技术在哪里。我花了两个星期和那里的员工呆在一起,建立起核心技术——反射光学,于是我们开始起步,告诉人们该技术会给产品带来什么价值。我们讨论哪些领域需要这种光学技术,我们想到了厚膜应用。我定位的第一个市场是磁盘驱动领域,后来我们占领了这块市场。我们采用缝隙市场战略不断扩大领地,现在我们还是采用缝隙市场战略,我们袭击有竞争力的缝隙市场,但不和尼康和佳能竞争。我选择我能真正控制的缝隙市场,在那里我们能做得出色。
最近15年来我开始审视我们将这家小公司发展壮大的途径。我非常关注资产负债表,对于我来说资产负债表就是能量和寿命。今天我们还有非常出色的资产负债表,没有负债,不害怕风险管理。
现在公司比以往任何时候都要强大,财务上非常出色,技术、产品和员工都很棒,其实公司的真正资产是人。
(本文整理自Craig Addison 2006年5月对Zafiropoulo的采访)
个人经历
Arthur W. Zafiropoulo 1990年成为Ultratech公司的总裁,现在同时担任该公司主席、总裁和CEO。1993年他对Ultratech发起管理层收购,随后进行了首次公开上市。加入Ultratech前,Zafiropoulo是通用信号半导体设备集团国际业务部的总裁。1980年他曾成立一家干法刻蚀公司Drytek,该公司在1986年被通用信号集团收购,后来在1993年又被Lam Research收购。Zafiropoulo还曾担任Kayex的总裁,该公司有三个子公司:Hampco、Capco 和Spitfire。Zafiropoulo拥有多个美国和其它国家的专利,他是SEMI董事会成员,2003年曾担任SEMI的主席。