台系设备厂切入薄膜太阳能领域，目前主要以非晶硅及铜铟镓硒(CIGS)领域为主，台系设备业者指出，由于开发薄膜太阳能设备成功关键在于制程设备，其与半导体制程类似，为台系业者欠缺之技术，开发难度远较先期预期来的高，恐怕未来能在薄膜设备领域成功者仅少数。
台系设备业者指出，目前切入薄膜太阳能设备者主流为非晶硅与CIGS两大领域，多数大厂皆朝向开发Turnkey Solution，不过其中关键制程设备，就台厂能力来说，还难以追上国际脚步。目前台湾投入薄膜设备开发的包括均豪、盟立、志圣、广运、富临、帆宣、北儒等。
设备业者指出，在薄膜设备中，核心的化学气象沉积(PECVD)占整厂设备成本约6成，因此也被视为薄膜设备的成功关键，然而台厂欠缺相关技术，现阶段需购买国外设备来组装，或与国外技转，至于能开发PECVD之业者，大多有签订代工协议，不能自营销售。
至于在CIGS部分，牵涉多种化学原料，加上有毒性，不论采用蒸镀或溅镀制程，都有其困难之处，尤其国际上的量产实绩并不多，技术还算不上成熟，因此开发难度更甚于非晶硅。
台系设备业者指出，非晶硅目前尚有转换效率需克服，至于CIGS转换效率较高，然而争议多，未来何者会成为主流，其实都尚难看出来，不过预期非晶硅薄膜设备需求将会先复苏，至于CIGS则还需一段时间。
业内高层认为，薄膜太阳能领域的投入方式，不是靠以往在面板产业的经验就能成功，台厂若仍以外围设备为利基点，恐怕很容易为大陆同业取代。尤其美加设备厂各有其长才，若能互相结合，共同开发，将有助于加速发展脚步。
