CMOS工艺向22纳米迈进，新项目吸引欧美巨头纷沓而来

一个把CMOS工艺推向32纳米和22纳米制造节点的欧洲协作研究项目PullNano，有望获得2500万欧元(大约3200万美元)的基金支持，以继续实施在2004年启动的NanoCMOS项目。

　　据NanoCMOS网站的消息，PullNano项目受到欧盟委员会的肯定评价，据说这个为期30个月的项目合同原定从2006年4月开始，与今年6月底即将结束的NanoCMOS项目有两个月的重叠期。据报道，PullNano项目包含35个合作伙伴。

　　尽管该项目似乎没有自己的网页，但是，该项目于5月9-10日在研究机构IMEC(Leuven, Belgium)举办了为期两天的培训活动。在此次活动中，来自STMicroelectronics的Gilles Thomas通过演讲中讨论了PullNano项目，Thomas接替已退休的Guillermo Bomchil担任NanoCMOS项目的协调人。

　　NanoCMOS项目的研究成果已经被汇编为一系列文件，其中概要介绍了针对45nm节点的原料、前端处理工艺、器件和系统架构、后端处理工艺、特征提取和仿真、设备和培训等等。PullNano有望在未来的两年半中，沿着相同的子项目线对32nm和22nm进行研究。

　　现在对参与PullNano项目的信息尚不得而知，但是，看看NanoCMOS的合作者就有知道了。NanoCMOS项目的参与者包括：ST Microelectronics、飞利浦、英飞凌、飞思卡尔、Ion Beam Services、Magwel和Dolphin Integration，并得到IMEC研究院、CEA-LETI、CNRS、FhG/IISB和德国Chemnitz技术大学的支持。为了获得35强的协作，PullNano项目有望吸引更多的大学加入。

　　NanoCMOS项目的预算大约为4620万欧元(大约5800美元)，其中由欧洲联盟(European Union)提供2420万欧元的支持。看来PullNano项目也获得了类似基金的支持。对NanoCMOS项目的最终总结会预计7月4-5日在IMEC举行。