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UV-EPROM的写入与擦除

  写入时,通过给栅极加上高电压vPP,如图1所示,向浮置栅注入电荷。注人后的电荷由于不具备穿透硅氧化膜能壁的能量·因而只能维持现状。

   图1 UV-EPROM的写入


  当浮置栅接收到紫外线的照射,浮置栅中的电子接收了紫外线光量子的能量,则电子变成具有穿透硅氧化膜能壁能量的热电子。如图2所示,热电子穿透硅氧化膜,流向基板和栅极,恢复为擦除状态。UV-EPROM的擦除操作,只能通过接收紫外线的照射来进行,而不能进行电子擦除。也就是说,UV-EPROM只能够进行由“1”向“0”改变比特数,而在反方向上.除擦除芯片全部内容的方法以外,再没有其他的方法。

    图2 UV-EPROM的擦除

  我们知道,光的能量与光的波长成反比例关系,为了让电子成为热电子,从而具有穿透氧化膜的能量,就非常需要波长较短的光即紫外线的照射。由于擦除时间决定于光量子的数目,因而即使在波长较短的情况下,也不能缩短擦除时间。一般地,当波长为400OA(400nm)左右时才开始进行擦除。在3000A左右基本达到饱和。低于3000A以后,波长即使再短,对于擦除时间也不会产生什么影响。

  UV-EPROM擦除的标准一般为接受波长2537A、12 000μW/cm2的紫外线15~20分钟左右的照射,即可完成其擦除操作。
 
  根据擦除机制可知,即使得到热能,浮置栅电荷的消失也是发生在某一概率下。其发生的概率是随着器件绝对温度的上升以指数函数递增的。

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