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英特尔计划在IEDM上推出32纳米工艺

  在即将举行的2008年IEEE国际电子器件大会(IEDM),英特尔公司计划发布其最新的用在高性能处理器上的32纳米工艺技术。

  根据IEDM文件,英特尔公司建立了一个基本的32纳米、291兆比特的SRAM阵列测试芯片,单元尺寸为0.171平方微米。该器件集成了近20亿个晶体管和4.2Mbit2的矩阵密度。

  测试芯片工作在3.8GHz的频率上,工作电压为1.1伏。英特尔计划开发其首款32纳米的沉浸光刻扫描仪。此前193纳米的设备来自尼康公司。该工艺还利用了第二代高h/金属门技术、紧缩频道、以及9个等级的低k电介质互联技术。此外根据报道,该工艺还可以产生目前32纳米的最大驱动电流。NMOS饱和驱动电流为1.55毫安,而传统的PMOS驱动电流为1.21毫安。

  在IEDM上,还会有其他重要的产品推出。HRL实验室将介绍其RFCMOS与磷化铟(InP)晶体管的集成技术。根据该介绍文件称,“磷化铟晶体管与其它硅质晶体管相比,速度更快,但密集的磷化铟集成电路因技术不成熟而尚未批量生产。”

  据称,HRL已经将高性能的250纳米、300GHz的ft/fmax磷化铟双异质结双极晶体管(DHBTs)与IBM公司已有的130纳米RF-CMOS晶圆集成在一起。

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