Mattson新款Suprema光刻胶剥离系统获订单应用于32nm逻辑器件开发

　　半导体设备商Mattson Technology公司日前宣布，其最新系列Suprema(TM)光刻胶剥离系统收到订单。此订单来自一家领先的半导体制造商，将用于32nm节点高K及金属栅极的光刻胶剥离。

　　Mattson称此订单意义重大，是第一套被客户用于逻辑器件开发的Suprema系统，并预计在2009年下半年用于量产。该设备已经发货。

　　Mattson公司表面清洗部副总裁兼总经理Neal Holmlund表示，该客户曾是最早将Suprema用于量产的厂家之一，这次的订单表明了客户对于Mattson设备应用在32nm制程上的信心。