专为MEMS、纳米技术和半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的厂商日期宣布,其纳米压印光刻(NIL)系统销售量已达到100套。这不仅仅对EVG具有里程碑式意义:EVG凭借该领域的众多NIL系统将市占率稳占30%左右);也是整个产业的一大喜讯。该产业服务于全球基于NIL平台的高速增长的领域,比四年前的规模扩大两倍。
EVG在NIL开发和商业化进程中取得佳绩,现有领先的NIL产品包括EVG770全自动NIL步进机、EVG750全自动热压系统等等。NIL工艺最近取得该领域的成功包括面向CMOS图像传感器、光栅、LED和HDD的光学市场,使得NIL符合它针对离散磁道记录(DTR)以及磁气记录技术(BPM)的路线图。这些方法有望用到下一代HDD产品档中,使其数据存储密度超过1012 bits/in 2