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SEMI公布FPD、MEMS及半导体制造领域4项新标准 为产业带来关键解决方案

  SEMI日前公布了FPD、MEMS以及半导体制造领域的四项新标准。新标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他加入SEMI国际标准计划的公司中的技术专家拟定而成,这些标准除可购买CD-ROM光盘外,还可以在SEMI网站www.semi.org下载。

  SEMI每年公布三次SEMI Standard,在过去的35年里发布的标准数已超过770项。

  SEMI国际标准部门主管James Amano表示,本次公布的4项标准涉及FPD、MEMS及半导体制造产业,为制造过程中所遇挑战提供了关键的解决方案。

  4项新标准包括:

  SEMI D53-0708

  Specification for Liquid Crystal Display (LCD) Pellicles(LCD薄膜标准)

  SEMI D52-0708

  Specification for Reference Position of Substrate ID(衬底ID原始位置标准)

  SEMI MS7-0708

  Specification for Microfluidic Interfaces to Electronic Device Packages(电子器件封装的微流体介面标准)

  SEMI T19-0708

  Specification for Device Marking(器件标识标准)

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