据Digitimes网站报道，尽管台积电近两三年才踏进MEMS晶圆代工市场，但MEMS晶圆代工报价却硬是较其它MEMS代工厂要贵上4~5倍之多，尤其在台积电对于质量与交期绝对挂保证前提下，客户还是欣然接受如同贵族般的代工报价，加上台积电更是史无前例地附赠200片测试晶圆片，可说是保证做到好才进入量产，让不少客户仍趋之若鹜。不过，台积电对此不予回应。
部分业者将台积电晶圆代工报价形容为奔驰级价格，过去在CMOS制程晶圆代工，台积电报价便较其它晶圆代工厂昂贵，而该情况同样发生在MEMS晶圆代工市场，MEMS厂商表示，台积电对于一般等级MEMS代工客户报价约在60万美元，硬是较部分晶圆代工厂贵上4~5倍。
MEMS厂商指出，由于MEMS晶圆代工对于台积电来说，相较于一般CMOS制程晶圆代工，仍属较为特殊制程，必须花费较多时间练兵，可能必须花上几个月时间，才能将代工良率做到可量产阶段，这些相关总成本必须由代工客户买单。不过，MEMS客户认为，可了解台积电报价为何如此昂贵，由于台积电在制程中必须使用到某些与CMOS制程代工不一样的机器设备与流程，使得MEMS代工客户得支付较多费用。
此外，由于台积电长久以来在CMOS制程代工所累积良好信用，无论在质量、交期、甚至是良率，均让客户可说是无后顾之忧，在MEMS代工部分，台积电甚至附赠约200片测试晶圆片，让客户达到100％满意度，该策略亦确实奏效，吸引不少MEMS客户订单。
