全球领先的半导体工艺和测试解决方案提供商SUSS MicroTec近日宣布，韩国的u-ITC公司选购了先进的SUSS晶圆键合设备，进行MEMS代工。
u-ITC公司是一家世界享有盛名的MEMS传感器专业代工厂。随着MEMS市场上无生产线IC设计公司的日益增长，仁川的设施将实现从设计、加工，到组装、测试的本地一体化。
“SUSS ABC200全自动键合系统对于我们代工线的运转是一台非常关键的设备”，u-ITC公司主管，Suh, Dong-Ryang博士说，“依靠可以快速重新配置，改变工艺条件的自动化系统，我们能很容易地满足客户需要。”
“从小规模试产到批量生产，，SUSS键合系统的一个巨大的优势在于可以灵活、快速地重新设置工艺参数，尤其是代工厂开辟新市场时，”Suss MicroTec公司晶片键合部国际产品经理Daniel T. Hurley说，“我们很乐于协助u-ITC公司建起韩国最好的MEMS代工线。”
ABC200是一台200mm全自动的键合系统，拥有精密的机械结构、均匀的压力和领先的温度控制技术，可以提供出众的键合后对准精度。SUSS MicroTec能为MEMS、SOI、光电子和3D互联市场提供先进的晶圆键合解决方案。
