SAFC Hitech推出面向化合物半导体制造的金属有机物气相传输系统

　　SAFC Hitech近日宣布推出用于化合物半导体制造的金属有机物气相传输系统EpiVapor。EpiVapor可无需使用局部入水口和温度控制器，而是将蒸汽直接从高挥发火花灵敏液体中导入MOCVD系统，这种方式可减少非常可观的制造成本。

　　“随着MOCVD进入高量产时期，总体拥有者成本在成本控制中变得越来越重要，而金属有机物导入设备的成本在总体拥有者成本中也占了很重要的部分。”SAFC Hitech总裁Barry Leese评论道。