网站首页
IC库存
IC展台
电子资讯
技术资料
PDF文档
我的博客
IC72论坛
ic72 logo
资料首页最新产品 技术参数 电路图 设计应用 解决方案 代理商查询 IC替换 IC厂商 电子辞典
关键字: 技术文章 PDF资料 IC价格 电路图 代理商查询 IC替换 IC厂商 电子辞典

IBM与特许半导体发表32nm代工服务蓝图

  美国IBM与新加坡特许半导体制造(Chartered Semiconductor Manufacturing)联合发表了32nm工艺代工服务的发展蓝图。根据公布的蓝图,二者已于4月4日开始提供宏设计使用的工艺设计五金|工具包(PDK),从2008年9月起,将开始提供IP内核试制用Shuttle Service(以低价格试制5个~100个少量芯片的服务)。“最初的Shuttle Service予约已经排满”(特许半导体平台联盟副总裁Walter F. Lange)。量产预定于开始2009年下半年开始。
 耗电量比45nm降低45%

  IBM和特许半导体在发布发展蓝图的同时,还发布了包括5家伙伴企业在内的7家公司联合开发的32nm Bulk CMOS工艺技术。这是最初启用32nm代工服务的低电力LSI工艺技术。5家公司分别是:韩国三星电子、美国飞思卡尔半导体(Freescale Semiconductor)、德国英飞凌科技(Infineon Technologies)、意法半导体(STMicroelectronics)以及东芝。其中,三星还是IBM和特许半导体的硅代工业务伙伴企业。

  IBM开发的32nm工艺的特征在于在业内首先采用了可利用标准CMOS工艺(先加工栅极工艺)制造的高介电率(high-k)栅极绝缘膜/ 金属栅极。通过采用该工艺,电路的工作速度与采用多晶Si/SiON叠栅极的45nm工艺相比,最多可提高35%,耗电量最多可降低45%。除了基于 32nm工艺的SRAM的工作情况外,NOR和NAND等基本栅极,以及高度集成电路中的high-k/金属栅极的效果也已确认完毕。例如,根据确认,在 45nm处理器中导入high-k/金属栅极时,关键路径的性能最大可提高25%。

     采用基于先加工栅极工艺的high-k/金属栅极

  对于代工服务,2家公司计划在包括高性能版在内的全部32nm工艺中采用high-k/金属栅极。2家公司认为,high-k/金属栅极技术 “还可以应用于22nm工艺”(同上)。此次的低电力版虽然没有采用应变硅技术,但是,在高性能版方面,“将考虑组合high-k/金属栅极和应变硅的使用方法”(IBM 65nm/32nm项目负责人IBM系统与科技事业部An L.Steegen)。

  在快速加工栅极工艺中,如果在形成栅极的高温退火工序之前采用high-k/金属栅极,那么金属将受高温的影响,导致栅极工作参数变化,晶体管特性容易出现劣化。在业内率先量产high-k/金属栅极的英特尔,通过使用在高温退火后形成栅极的工艺,避免了该问题。

  对此,IBM表示:“通过选择耐高温的金属材料,使先加工栅极工艺成为了现实”(IBM的Steegen)。IBM为pMOS和nMOS使用单一金属材料,“通过栅极绝缘膜和界面的管理,得到了所需的栅极工作参数”(同上)。具体方法虽然没有透露,但是根据这一发言,可以推测是在栅极绝缘膜上设置金属氧化物形成盖层,通过高温退火,使金属在绝缘膜中扩散,由此改变栅极工作参数。

热门搜索:2920120 2920078 B10-8000-PCB 6SPDX-15 PS240406 2811271 UL17CB-15 2882828 SBB1002-1 SBB8006-SS-1 TLP74RB 01C5001JF PSF3612 2986122 TLP602 8300SB1 BTS412B2E3062A 02B1001JF 2804623 LC1200 ADS1013IDGSR TW-E41-T1 2839224 N060-004 TLP808TELTAA
COPYRIGHT:(1998-2010) IC72 达普IC芯片交易网
客户服务:service@IC72.com 库存上载:IC72@IC72.com
(北京)联系方式: 在线QQ咨询:点击这里给我发消息 联系电话:010-82614113 传真:010-82614123
京ICP备06008810号-21 京公网安备 11010802032910 号 企业资质