Rudolph Technologies日前宣布台湾微波集成电路晶圆代工厂稳懋半导体(WIN Semiconductors)已经成功安装七套NSX Series检测设备,并采用了数套Discover(TM)缺陷分析及良率管理软件。
WIN选择NSX系列设备主要是看重其经验证的生产能力,在辨识低至一微米的缺陷同时保证高吞吐量。另外由于该客户的特殊需求,Rudolph推荐其使用配套的缺陷分析及晶圆级缺陷标识软件,用于24/7工艺监控。
Rudolph销售副总裁称,WIN作为领先的GaAs制造厂商,使我们看到了这一快速增长的市场并为满足其特殊需求做出了及时回应。展望未来,我们将继续为满足其市场扩张需求而提供特定服务。