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Epson公司推出能够直接读取液体压力的MEMS传感器XP-7000系列

  
    XP-7000系列高精度石英压力传感器采用频率稳定的石英MEMS(QMEMS)音叉晶体,可以直接读取液体压力,无需像气体或油这样的压力传输介质。22(Dia)x40-mm器件具有独特的传输结构,提供的压力测量范围为0~100kPa,满刻度精度为±0.05%。

    该传感器的架构与先前传感器相比降低了其立方容积的40%以上。XP-7000MB型号具有缓冲电路,即使采用长电缆也能保持输出电平,同时XP-7000MB器件支持低电流。(

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