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  • 北方华创刻蚀机1000腔顺利交付
    http://www.ic72.com 发布时间:2020/12/15 15:53:55

     

    12月14日消息,日前,北方华创lCP刻蚀机1000腔交付仪式在亦庄基地隆重举行,NAURA刻蚀机研发团队与公司高管共同见证了这一历史性时刻。 

    北方华创lCP刻蚀机交付突破1000腔,不仅是公司发展征程中的重要里程碑,更是国产刻蚀机在历经了二十载自主创新,得到客户广泛认可的重要标志。

    北方华创自2001年成立后便开始组建团队研发刻蚀技术,并于2004年第一台设备成功起辉,2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线,并于2007年获得国家科学技术进步二等奖。

    目前,北方华创的刻蚀设备已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。

    其中,12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代的同时,在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。


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