精测电子9月10日晚间公告称，2020年9月10日，精测电子第三届董事会第24次会议审议通过了《关于对外投资设立全资子公司的议案》，同意公司使用自有资金人民币5亿元在北京设立全资子公司北京精测半导体技术有限公司。

另外，9月5日晚间精测电子公告称，其全资子公司上海精测将获多名股东增资入股，注册资本将由目前的1亿元增加至6.5亿元。本轮增资中，精测电子出资2亿元，上海精圆和大基金各出资1亿元，上海半导体及上海青浦各出资5000万元，马骏、刘瑞林各出资2500万元。增资完成后，精测电子对上海精测的持股比例稀释为46.15%，大基金和上海精圆将各持股15.4%；另外上海半导体及上海青浦将各持股7.7%，马骏、刘瑞林各持股3.8%。