去年，一台价值1.06亿元设备经空运从荷兰飞抵厦门，由于该设备价值高

，而且对保存和运输有着很高的要求——保存温度必须保持在23摄氏度恒温状

态下，为了避免影响设备的精度，在运输中也对稳定性有极高的要求。因此，

机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管，待货物装入特制温控

气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下，在完成紧急查验后当晚就放行。

上海微电子采购Bumotec机床加速中国光刻机研发

    没错，这台设备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜测，这台设备很有可能是

厦门当地政府与台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不过，由于西

方瓦森纳协议的限制，中国只能买到ASML的中低产品，这一点从厦门当地企业

进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。

    目前，光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML，并已经占据了高达80%的市场份

额，垄断了高端光刻机市场，日本尼康在高端光刻机上完全被ASML击败，即便

尼康的ArF光刻机售价仅为ASML的一半也无补于事。Intel、台积电、三星用来

加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML，格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆

厂的光刻机主要也是来自ASML。

    更关键的是，最先进的EUV光刻机全球仅有ASML能够生产，ASML在去年第三

季度和第四季度出售的两台EUV光刻机售价都超过1亿美元，落后EUV一代的ArF

光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元左右，从高企的报价和EUV光刻机全球

仅此一家出售可以看出，光刻机的技术门槛极高，是人类智慧集大成的产物。

    相比之下，国内光刻机厂商则显得非常寒酸，处于技术领先的上海微电子

装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是能用来加工90nm芯片的光刻机，

技术差距说是鸿沟都不为过，正是因此，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依

赖进口。

    据消息人士披露，上海微电子订了一批Bumotec机床。Bumotec是瑞士斯达

拉格旗下的子品牌，能制造顶尖的加工光学仪器的机床，据说比ASML用的德国

机床还好点——一般人耳熟能详的那些高端机床，和斯达拉格不是一个世界的

，斯达拉格专攻高精尖制造领域的制造设备，所以知道这个公司的人非常少。

但名气小不意味着技术就不顶尖。

    在本土机床还存在一定技术差距的情况下，通过这种方式有助于提升中国

光刻机的研发进度和技术提升。诚然，在采购瑞士机床的同时，国内也要做好

国产化替代工作，实现两条腿走路。

    另外，关于上微和ASML合作的消息，有朋友在微信上留言，怀疑上微是不

是要当伪军，但其实并非如此。主要是上微的一些技术和ASML的专利比较那个

啥，然后ASML就打官司，但一直没结果，中国政府也在中间协调。最后ASML搞

的很烦了，索性就以合作的名义，拿一笔钱，就不打官司了。所以这个合作并

不意味着上微要当伪军。而是继续走自主研发之路，只不过在前行之中可能会

借鉴一些前人探索出来的捷径。