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  • 微悬臂梁传感器在生化领域的应用
    http://www.ic72.com 发布时间:2013/2/21 16:11:06

      
        传感器是一种可以获取有用信息并将其转换成可用信号的特殊装置,它在信息处理系统中占有十分重要的地位,广泛应用于生产、科研和生活的各个领域。悬臂梁传感器结构是最简单的微结构,利用它可以探测到极小的位移或质量的变化,这使得微悬臂梁成为高精度高灵敏传感器的理想选择。


        由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁传感器,通过在其表面修饰以生化敏感层,能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应,配合以信号采集电路和测量系统,能够达到很高的灵敏度和精度。回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程,介绍悬臂梁的工作原理,微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点,总结了世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新动态,并且展望微悬臂梁传感器这一新领域的应用前景。微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点获得了越来越多的研究与应用,为生化物质的检测提供了一种新方法,具有诱人的应用前景和很大的市场潜力。但是微悬臂梁传感器还存在许多问题,如检测的可靠性与灵敏度有待提高,如何实现定量分析等。微悬臂梁传感器的一个重要发展方向是将其与分析化学、计算机、电子学、材料科学与生物学、医学等交叉,可以组建芯片实验室,实现化学分析检测,有可能导致化学分析领域的一场革命。
     


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