据SemicONductorInternational网站报道，在德国联邦教育与研究部（BMBF）基金支持下，AMD, Carl Zeiss SMT与Qimonda将启动一项1750万美元（1200万欧元）的纳米分析计划，为下一代芯片制造提供新的分析及表征方法。

    新的研发中心Carl Zeiss Innovation Center Dresden配备有超高分辨率粒子束系统，采用电子束及离子束取代光源使得样本图像达到单个原子水平，进而可以表征三维半导体结构并可以为芯片制造工业开发新材料。