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  • Novellus电化学沉积设备出货达300套铜互连技术保持领先
    http://www.ic72.com 发布时间:2012/10/22 11:42:15

        Novellus Systems日前宣布,其第300套SABRE电化学沉积(ECD)设备发货至一家领先的韩国半导体制造厂,用于闪存及DRAM器件生产中铜的沉积。这意味着铜电化学沉积在存储器制造中应用渐增,同时也表明了Novellus在下一代存储制造设备供应商中的领先地位。


        SABRE平台发布已经10年,推动了芯片产业由铝互连向铜互连的过渡。SABRE系统技术先进,能够在低成本下获得高产量及低缺陷率。SABRE已经在全球前十大铜互连IC制造商中的9家成功安装,成为逻辑及存储芯片制造商关于电化学设备的首选。


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