记者近日从中国光学光电子行业协会光电器件分会第六届理事会第七次会议上了解到,南昌黄绿照明有限公司成功研制出自主知识产权的生产型MOCVD设备。黄绿照明公司依托南昌大学、国家硅基LED工程技术研究中心,经过近一年的努力,研制成功2英寸(硅衬底/蓝宝石衬底/碳化硅衬底)37片GaN基MOCVD。该设备具有自主创新的气体输运系统,较进口机具有材料生长时间短,原材料消耗少等特点。黄绿照明公司将实行较钥匙工程,保证客户芯片工艺制造水平达到冷白光110流明/瓦以上。
据悉,黄绿照明公司、国家硅基LED工程技术研究中心将在做好第一代设备在线生产使用的基础上,积极开发下一代MOCVD设备,为中国LED照明产业的可持续发展做贡献。