根据路透社的消息,美国材料生产大厂Cree可能有意全盘收购德国MOCAD设备厂商Aixtron。
不过业内人士对这一传言还有点摸不着头脑,因为这样的交易好像有点不合情理: Cree 生产碳化硅材料、制造功率和射频器件、当然LED 发光管和LED照明器材也是Cree的大买卖;而Axitron主要就是生产用于LED芯片制造的MOCVD设备。前一阵子,谣传应用材料(AMAT)打算收购一家MOCVD设备制造商,可能是Veeco,因为应用材料感到自己在这个市场上行动稍微迟缓了一点(而被较小的竞争对手抢了先机)。
LED相关产品在全球各国市场都十分抢眼。而中国市场则是LED不断发展的最大驱动力。投资银行巴莱克资本分析师,C.J. Muse 指出,“中国瞄准LED产业,不仅是为了减少能源与电力消耗,也是为了推动国内LED行业的发展。”
“中国政府瞄准了LED行业的供需两方面。在LED供应方面,中国政府为当地LED设备生产公司提供了大量的财政补贴;同时在LED需求方面,中国政府将中国10大城市的1000多个路灯换成LED路灯(原文)。在2009年,完成了20多个城市近100万个市级LED路的改造工作;在此过程中,中国政府规定,其中所使用的路灯,60%是国产(中国产),从而节省约220 M KWh的电能。”
Aixtron和Veeco是MOCVD设备制造的主要两大企业,在行业内占据绝对的领先优势。其生产的MOCVD设备占据了超过50%的市场份额。其中,在MOCVD设备领域,领头羊包括Aixtron(市场份额约55%至70%),Veeco(市场份额约15%至35%),Nippon Sanso(市场份额约5%至10%),以及国内MOCVD设备厂商(例如Cree)。其他欲挤入MOCVD市场的公司包括应用材料(AMAT)、Jusung Engineering, Tokyo Electron, Ulvac, SAMCO, ADP, IPS, KOPTI, and SEMES等。
Muse 指出,“据我们估计,在2011年,Aixtron的市场占有率将保持在55%左右;而Veeco的市场占有率将达到40%,因为Veeco早期在中国推出了其K465i型设备而吸引了大量的客户(在中国大陆对MOCVD设备的需求,在Veeco和Aixtron设备之间的需求是均衡的;而在中国台湾却偏向Aixtron);预计到2011年,中国市场对Veeco和Aixtron的设备的需求量将达到63%。”
“Aixtron的MOCVD技术已经出现了两个分支——Planetary Reactor反应器以及CCS(Closed Coupled Showerhead)反应器。Aixtron的Planetary Reactor反应器于1989年获得了Philips认证。该技术将气体前体导入反应室一端;然后在旋转晶圆表面对该气体进行反应处理;剩余废气最后通过反应室另一端排放出去。”
“第二种技术——CCS(Closed Coupled Showerhead)反应器是Aixtron在1999年收购Thomas Swan时引入的。在这种配置下,通过晶圆上方的水冷式喷头将该气体前体导入反应室。然后将晶圆放置于旋转晶圆载具上方。”
“Veeco的MOCVD技术是2003年从Emcore引入的。这种TurboDisc 技术由承载多个晶圆的高速旋转圆盘组成。具体操作是这样的:直接将气体前体导入反应室,然后在晶圆表面附近而不是在喷射器表面进行化学反应。