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  • IBM晶圆厂联盟否认遭遇高介电/金属栅极制程问题
    http://www.ic72.com 发布时间:2010/10/8 9:24:03

        成员包括GlobalFoundries、Samsung等厂商的IBM晶圆厂联盟,反驳了业界传言该联盟在高介电/金属栅极(high-k/metal-gate)遭遇困难的传言。

        根据Barclays Bank分析师Andrew Lu的一篇报告指出,由于可减少栅极漏电流,高介电/金属栅极技术能降低晶体管的待机耗电,不过现在该领域出现了该采用“前栅极(gate-first)”或“后栅极(gate-last)”的争议;所谓的前或后,指的是金属栅极是在半导体制程中的高温活化退火程序(high-temperature activation anneals)之前或之后,沉积到晶圆片上。
     
        包括英特尔(Intel)、台积电(TSMC)等厂商是后栅极技术的支持者;其中英特尔是从45纳米节点开始生产高介电制程处理器,迄今已经推出两代高介电制程产品。而IBM的晶圆厂联盟则是采用前栅极技术,但到目前为止,该联盟成员都尚未量产高介电制程芯片;采用IBM制程的AMD可望在2011推出第一代高介电处理器。

        “具我们了解,前栅极技术支持者(包括Sematech以及IBM、Infineon、NEC、Globalfoundries、Samsung、ST与Toshiba)都面临包括散热不稳定(thermal instability)、阈值电压飘移(threshold voltage shifts),以及栅堆栈重新生长(re-growth in the gate stack)等等问题,这对微缩电氧化层厚度的pMOS组件来说是很严重的。”Lu表示。

        此外Barclays Bank的报告预期,台积电可望成为28纳米节点前栅极高介电/金属栅极技术领域的领导者。

        但针对以上报告,IBM晶圆厂联盟成员GlobalFoundries提出反驳,甚至表示,由于该公司并非上市公司,并未与Barclays Bank等财经市场分析机构定期接触,因此该报告的一些消息可能不是最新的。GlobalFoundries表示,该公司的32纳米高介电/金属栅极制程,目前正在Fab 1进行初步生产。

        而Samsung也回应指出,在6月初,该公司已经宣布其32纳米高介电/金属栅极制程通过质量验证,包括1,000小时的高温运作寿命(HTOL),也没有遭遇相关问题。

     


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