近几个月来， 193纳米浸润式微影设备出现缺货与交期延长的现象，供应商ASML的状况最严重，其次为Nikon。几乎大部分的内存与逻辑芯片大厂、还有晶圆代工业者，都无法取得足够的微影设备来因应先进制程需求。

    换句话说，由于在取得足够设备方面的计划不周，有部份芯片供应商无法生产足够的产品；虽然ASML已经在加紧赶货，但交货期(lead times)延长的状况难以排除。对此市场研究机构VLSI Research执行长G. Dan Hutcheson表示：“在不景气时期，买主们都会忽略可以随意愿取得够多设备的事实；这现象在许多设备供应商甘愿供过于求时特别明显。”

    “在这波景气复苏中，我们看到厂商策略性采购行为出现有趣的新转折：在浸润式微影设备市场上采取买方垄断方式；也就是说，有部份特别注重战略思维的芯片制造商，由于比竞争对手提早几个季估算出景气复苏力道，就以大笔现金攻势封锁了所有浸润式微影设备的采购通路。”Hutcheson指出。

    那么，在这波193纳米微影设备抢购大战中，谁是赢家、谁又是输家呢？以下是来自VLSI Research的看法：

    赢家──三星(Samsung)与GlobalFoundries。其中三星在不景气期间就买进大批193纳米浸润式微影设备，打算在内存与晶圆代工领域抢得先机；至于GlobalFoundries显然也购足了可因应需求的设备。

    输家──VLSI Research表示，这波抢设备大战中的输家大部分是台系厂商，而他们现在也面临了扩充28纳米制程产能的窘境，即使他们已经抢到了相关设计案；VLSI并没有一一点名那些厂商，但包括台积电(TSMC)、联电(UMC)与各家台湾DRAM厂，恐怕都在微影设备的采购上迟了一步。