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  • 三星展示TFT工序全部采用纳米印刷的12.1英寸面板
    http://www.ic72.com 发布时间:2010/8/9 11:35:34

        韩国三星电子在“FPD International 2008”上展出了全部TFT工序采用纳米印刷制造而成的液晶面板试制品。试制的液晶面板为12.1英寸,像素为1280×800的WXGA。由采用树脂模型的UV(紫外线)纳米印刷技术制作而成。   该公司采用的UV纳米印刷制造工艺的制作过程如下。(1)在玻璃底板上涂布成形用的构造材料,然后在上面涂布UV硬化树脂。(2)将树脂模型压在UV硬化树脂上,从模型的上方照射紫外光,将模型的图案转印到UV硬化树脂上。(3)将树脂模型从UV硬化树脂上剥离下来。(4)把UV硬化树脂用作掩模(Mask),对构造材料进行蚀刻。(5)除去蚀刻后残余的树脂。反复进行上述的一系列工艺,最终形成TFT。   之所以从多种纳米印刷技术中选择UV纳米印刷,该公司列出了三个原因:“适合大面积制作”,“可实现高解像度”,“易于降低制造成本”。比如采用热纳米印刷时,面积越大,面内温度越难以确保均匀,而且还存在由于树脂的热胀冷缩而对质量影响较大的问题。   此次开发的UV纳米印刷工艺可以转印最小线宽为2~3μm的图案。由于模型的原版可转印最小线宽为1μm,所以生产转印用树脂模型时的制造精度还有很大的提高余地。


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