中芯国际集成电路制造有限公司(SMIC)今天宣布,2009年第三季度开始在旗下北京300毫米工厂生产的65nm工艺晶圆已经累计出货一万多块,标志着新技术量产阶段的开始。
中芯国际表示,65nm技术能够显著提高产品集成度,并具有高性能、低功耗、小尺寸的高水平,符合DFM标准,目前涉及的产品应用包括Wi-Fi、蓝牙、高清电视、影音解码器、应用处理器、TD-SCDMA芯片等等,其中既包括中芯国际自主设计的IP,也有第三方IP。
与此同时,中芯国际也正在开发从65nm过渡到55nm的新技术,新工艺(包括输入输出和模拟电路)将做90%的线性比例缩小,预计年底将有突破性进展。
中芯国际65nm工艺技术主要特点:
1、全面的IP解决方案(包括RF、PDK、DFM),更节省客户设计成本,方便客户根据产品定制调试IP方案。
2、I/O选择包含1.8V/2.5V/3.3V、三栅极氧化物(一个核心和两个I/O)。2.5V I/O上可加至3.3V、下可降至1.8V,能满足不同产品的需要。
3、65LL、65G基本一致,不过65G具备额外增强性能的NMOS模块。
4、多达10个铜金属层。
5、目前有超过10个FOT、COT客户正处于开发以及生产阶段。
6、为客户提供每两个月一次的65nm多项目晶圆服务。