2009年全球半导体制造装置的供货额连续2年大幅减少。SEMI（国际半导体制造装置材料协会）2010年3月宣布，09年全球半导体制造装置供货额比上年减少46.1％，为159亿2000万美元。跌幅超过了08年比上年减少的31.0％。受全球经济衰退的影响，09年全球半导体市场供货额比上年减少9.0％，但半导体制造装置市场较其下滑了37.1个百分点。所以供货额还不到顶峰时期07年的4成。

    按照开展业务的地区划分，09年日本市场比上年减少68.3％，为22亿3000万美元。日本市场08年为全球最大市场，但09年却不抵韩国，市场规模排名第四。供货额最大的是台湾市场，比上年减少13.2％，为43亿5000万美元。占全球整体的27.3％。全球最大代工企业台湾台积电（TSMC）09年第四季度大幅增加此前一直控制的投资金额，对台湾市场做出了贡献。台积电计划2010年进行有史以来最大规模的投资，这样估计台湾市场将继续带动整个制造装置市场的发展。