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  • 台积电称其已解决造成40nm制程良率不佳的工艺问题
    http://www.ic72.com 发布时间:2010/1/21 10:32:10

        据台积电公司高级副总裁刘德音最近在一次公司会议上表示,台积电40nm制程工艺的良率已经提升至与现有65nm制程相同的水平,他并表示公司已经完美解决了先前造成40nm制程良率不佳的工艺腔匹配(Chamber matching)问题。

        台积电19日举办了一场庆祝Phase5新厂房完工的庆典仪式,这间厂房隶属于新竹科技园区的台积电Fab12工厂。据悉新完工的Phase5厂房将于今年第三季度起开始批量投产28nm制程产品。

        另据刘德音表示,台积电正在计划兴建Fab12 Phase6厂房,这座Phase6厂房将用于生产22nm制程产品。


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