设备是太阳能光伏产业发展的核心和基础，光伏产业链的每一个环节都离不开相应的生产设备。

    近年来欧美光伏市场的海量需求带动了国内光伏产业的爆炸式增长，产业扩张对装备的需求也与日俱增，进口大量的工艺核心装备不仅耗费大量的外汇，而且不利于国内光伏产业的发展。因此，晶体硅太阳能电池生产线实现全面国产化对于国内光伏产业链的健康发展有着非常重要的意义。这让国内光伏设备企业有了强烈的使命感，“用自己的装备，创造中国光伏产业的奇迹！”这是中国电子科技集团公司第48研究所给自己制定的目标，而且他们也践行着自己的诺言：以自己研制的装备为主，自行建设并投入运行20条晶体硅太阳能电池生产线，在此基础上为客户承建了大量晶体硅太阳能电池线整线“交钥匙”工程。

    晶体硅电池线设备全面突破

    设备是太阳能光伏产业发展的核心和基础，光伏产业链的每一个环节都离不开相应的生产设备。

    扩散工艺是晶体硅电池线上最关键的一道工序，直接决定着电池片的光电转换性能。48所所长唐景庭介绍说，48所是国内最早从事电子专用设备研究的骨干科研院所，通过不断的自主创新、集成创新，在上世纪80年代便掌握了扩散炉和刻蚀机技术。本世纪初，借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，48所凭借扩散炉和刻蚀机的技术优势成功打入市场，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口设备挤出国门，实现了大型半导体生产线上关键工序国产装备零的突破。48所扩散装备占据了国内85%以上的市场份额，大幅度降低了晶体硅太阳能电池线的投资门槛，并以及时优质的售后服务有效地降低了用户的运行成本，推动了国内光伏产业的蓬勃发展。

    初战告捷，48所人没有停下前进的步伐。等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备是晶体硅太阳能电池生产线上的另一种关键技术装备，用于制备钝化减反射膜，提高光的吸收效率，从而提高电池片的光电转换效率。由于国内工业基础相对落后，PECVD设备的核心技术一直被进口设备所垄断。48所人没有被困难吓倒，集中优势力量，从引进、创新、整合资源等多个方面入手，投入巨额科研经费开展PECVD设备的研制工作。2002年底成功研制出PECVD设备样机，掌握了关键技术的完全自主知识产权。PECVD设备在48所自己的示范线和大生产线上成功使用后不断进行技术升级，在国内首家实现将工艺固化到设备中，为用户节约了大量的工艺摸索时间，设备市场份额年年攀升。目前最先进的III型PECVD设备性能已经和进口设备平分秋色。“尽管我们在扩散炉、刻蚀机、PECVD设备上取得了重大突破，但是也要看到高温烧结炉等还是进口设备的天下，所以我们不能停下来，要把实现晶体硅太阳能电池生产线更多的国产化、打造民族的‘交钥匙’工程作为我们的神圣使命。”唐景庭说。为此，48所设立了专项基金用于产业链上下游产品的研发，与国内知名院校企业如东方日升新能源股份有限公司合作联合攻关，建立了全球绝无仅有的光伏装备企业的“交钥匙”工程示范线和大生产线。“利用示范线和大生产线上取得的技术成果，我们相继推出大口径长温区闭管扩散炉、软着陆全密封洁净扩散炉、压力自平衡软着陆扩散炉等一系列新产品，攻克了长温区温场控、大口径炉体设计、压力自平衡、高温炉门密封等一系列技术难题，并获多项专利授权。这些技术进步迫使国际先进设备大幅压缩利润空间，市场份额逐年萎缩。”唐景庭充满自豪地说。 

    除了在扩散炉、刻蚀机、PECVD设备上取得突破，48所还集中力量在其他光伏设备领域进行了研发。唐景庭告诉记者：“尽管烧结的工艺技术难度不高，却被进口设备一直垄断。造成这种不利局面主要是由于国内加工及制造技术以及元器件的配套工程无法和西方发达国家相比。48所通过技术创新，研制出适合中国国情的一系列方案，除一些关键元器件采用进口商业化产品外，其他均实现国产化，大幅度降低制造成本，从而提高性价比。”

    化学清洗制绒设备是晶体硅电池生产线上的第一道工序，其工艺技术相对比较成熟，48所从2007年初开始利用2年多的时间，从无到有，从弱到强，成功开发出了6代产品，已经完全掌握了单晶制绒工艺技术和多晶制绒工艺技术，并实现了化学清洗制绒设备的量产，为全面实现整线“交钥匙”工程提供了有力的技术保障。

    走出去与引进来相结合

    在发展国际一流光伏装备的方针指引下，48所一直沿着“走出去”与“引进来”相结合的路线不断前行。唐景庭具体解释了“走出去”与“引进来”的含义。他表示，“走出去”即指有目的地派出相关技术、管理人员到国际知名装备制造企业进行学习考察，掌握先进技术和管理经验。“引进来”就是投入重金聘请国内外知名专家进行技术指导和业务培训，利用社会资源从整体上提高48所技术力量的技能和业务水平，成功举办专家讲座、学术会议二十余次。同时与清华大学、上海交通大学、中山大学等多家知名大学联合组建攻关队伍，对核心技术进行联合攻关，与国内多家知名光伏企业建立了长期战略合作伙伴关系，实现优势互补，相互促进提高。其中与东方日升新能源股份有限公司联合实施的湖南省科技厅“等离子体增强化学气相淀积设备”、“太阳能电池制备用大口径闭管扩散设备”、“太阳能电池制备关键技术与设备研发”等重大科技专项，大大提高了设备和工艺制造的整体技术含量，主要性能指标达到国内领先、国际先进水平。

    工艺与设备是相辅相成、相互促进的统一体。俗语称：“一代工艺，一代设备”。只有在一流的工艺指导下，才能研制开发出一流的设备。作为国内最大的光伏装备供应商，48所彻底打破了以往设备和工艺脱节的发展模式，充分利用坚实的设备研发基础和科研院所拥有的雄厚技术力量优势，坚持“工艺和设备两手抓”，通过产研结合将最先进的工艺技术物化到设备当中，从而为用户提供优质的产品和灵活多样的选择。经过短短两年多的时间，他们取得了单晶硅生产线工艺平均转换效率超过17.5%、多晶硅生产线工艺平均转换效率超过16.5%的佳绩。在探索先进工艺的过程中，对扩散炉温度控制系统、扩散高温炉门密封系统、推舟控制系统、PECVD压力控制系统、安全保护系统、清洗机自动补液系统、机械手喷淋系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、快速升温降温系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破。通过技术升级，扩散炉、PECVD设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺设备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。

    建立示范线积累交钥匙工程经验

    48所以强烈的民族责任感和使命感勇敢地承担起晶体硅太阳电池生产线全线国产化的重任，组织精干力量，整合社会资源，刻苦钻研，勇于探索，闯出了一条民族产业的兴起之路。

    随着国内经济形势的逐步好转，特别是国家“金太阳”工程的实施，光伏发电的内需市场已经形成，这为国内光伏产业发展带来新的生机。48所人正怀着满腔热情和高度的民族使命感，再接再厉，突破大容量多晶硅铸锭炉、多线切割机等产业链上游关键工序的核心技术，为国内光伏产业的可持续发展努力拼搏。“相信再通过2年－3年的努力，48所一定会打造成为中国的世界级光伏制造企业。”唐景庭满怀信心地说。