光掩膜巨头大日本印刷(Dai Nippon Printing Co. Ltd.,DNP)和纳米压印光刻技术供应商Molecular Imprints Inc. (MII) 签订了战略合作协议,共同致力于纳米压印掩膜技术的开发。
DNP将为MII提供债券和相关的支持,以开发新的掩膜复制平台,用来降低压印掩膜产品的成本。这个合作项目的目标是,开发掩膜复制技术,为22nm半节距节点的商业化部署做好准备。