光学、电子和能源应用领域高级产品与解决方案开发商和制造商NanoGram公司近日宣布，已与东京电子有限公司（Tokyo Electron, Ltd.）签署联合开发协议，扩大两者之间的合作关系，使后者从战略投资人发展到技术和市场开发合作伙伴。

　　该联合开发协议将专注于开发先进的薄膜沉积五金|工具，该工具采用NanoGram已获专利的激光反应沉积(LRD)硅处理技术。该平台将以快速发展的薄膜光电市场为目标，Prometheus Institute预计该市场到2012年将增长到整个光电市场的40%。

　　NanoGram的LRD工艺具有明显的速度优势，沉积非晶和微晶硅的速度比传统的CVD工艺明显更快。此项开发工作还有望与NanoGram突破性的低成本多晶SilFoil PV模块业务形成互补。

　　此次宣布是在NanoGram的SilFoil多晶光电产品获得美国能源部能量效率与可再生能源办公室授予的能源创新奖后做出的。公司计划在2009年年底之前提供5兆瓦的能量。