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  • SEMI发布半导体制造5项新标准
    http://www.ic72.com 发布时间:2008/10/8 9:01:00

      SEMI日前发布五项新的半导体制造技术标准。这些标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他参与SEMI国际标准项目厂商的技术专家们开发制定,可通过购买CD-ROM或在SEMI网站上下载获得。

      SEMI标准每三年发布一次。这些新的专利作为2008年11月版的一部分,加入到过去35年中SEMI已发布的775个标准中。

      “这些新的SEMI标准是基于产业专家们的合作与共识而制订的。”SEMI国际标准主管JamesAmano说道,“这些标准的执行将帮助厂商应对日益增加的制造挑战,改善收益率,并实现设备工艺的全球化兼容。”

      五项标准分别是:

      SEMIE139.3

      XML/SOAPBindingforRecipeandParameterManagement

      (配方和参数管理的XML/SOAP结合)

      SEMIG87

      SpecificationforPlasticTapeFramefor300mmWafer

      (300mm晶圆塑料带框规格)

      SEMIM73

      TestMethodsforExtractingRelevantCharacteristicsfromMeasuredWaferEdgeProfiles

      (由标准晶圆边缘提取相关特征的测试方法)

      SEMIM74

      Specificationfor450mmDiameterMechanicalHandlingPolishedWafers

      (450mm抛光晶圆机械搬运规格)

      SEMIT20

      SystemArchitectureforPreventing/DetectingSemiconductorCounterfeitProducts

      (半导体仿冒品防止/探测系统架构)


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