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  • Aviza 向LED前五制造商提供PECVD设备
    http://www.ic72.com 发布时间:2008/10/6 10:35:00

      美国工艺设备供应商Aviza表示,它的等离子增强的CVD系统取代了另一家竞争者成为前五名高亮度LED制造商的供应商。Aviza产品事业部的高级副总Kevin Crofton表示,下订单的是位列全球前五的高亮度LED制造商。半导体设备供应商Aviza技术公司重拾化合物业务,凭着大量的刻蚀和CVD设备订单赢得重大的胜利。Aviza的DELta i2L等离子增强型CVD(PECVD)和Omega i2L刻蚀系统产量高,正常运行时间长,可靠性好,工艺稳定性更强;目前正在客户的批量级厂房中,准备用于生产GaAs基和InGaN基LED。

      Crofton说,这家LED制造商既是现有设备也是Aviza旧型CVD设备的客户,不过最近一笔订单尤为重要,原因是Omega刻蚀设备现在被认为是“创纪录得工艺设备(PTOR)”。在沉积设备方面,Aviza是这家LED制造商针对PE-CVD应用的新型供应商。

      这个订单揭示了最近Aviza的策略上的变化,在DRAM这个残酷的竞争产业里,他们越来越注重比如III-V族、功率半导体、LED和MEMS等需要进行薄膜生长的市场,并已初期奏效。Crofton补充道,“仅仅在过去几年内,我们的产品组合已明显偏向这些生长市场”,据市调公司Strategies Unlimited表明,未来几年HB-LED的年增长率将达到20%。“只要这些市场仍在增长,我们将凭着获得认可的产品迎头赶上它们”。


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