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  • KLA-Tencor推出磁盘驱动器基片和盘片缺陷检查的新技术
    http://www.ic72.com 发布时间:2008/9/26 11:37:00

      KLA-Tencor公司针对硬盘驱动器基片与盘片高级缺陷检查推出了 Candela 7100系列。7100系列建立在备受肯定且已量产化的Candela产品线基础上,专为帮助制造商识别与分类诸如凹陷、凸起、微粒及隐藏缺陷等亚微米级关键缺陷而设计,可以提升良率,降低检测的总成本。

      KLA-Tencor成长与新兴市场 (GEM) 集团副总裁Jeff Donnelly表示:“Candela 7100系列是我们光学表面分析技术的一个创新延伸,作为缺陷检测与分类的创纪录五金|工具,深获客户认同。凭借更高的灵敏度和分类能力,7100系列的一体化解决方案旨在减少对其它工具的依赖性,降低我们客户的成本,并缩短他们获得成果的时间。”

      表面积(储存单位)密度的持续增长推动了对更低表面污染水平、更平滑的磁盘表面、对更小缺陷尺寸的更强灵敏度的需求,以及提早在制程中控制特定缺陷类型的重要性。此外,随着磁记录头飞行高度的降低,微小缺陷如今对良率的影响也越来越大。Candela 7100系列拥有业界领先的灵敏度,堪为应对这些业界挑战的理想解决方案。

      盘驱动器行业要不断满足客户对更高性价比的需求,因此制造商必须要以更快的时间获得成果,采取在统计学上更有效的决策,同时保持成本竞争优势。Candela 7100降低了对众多非生产工具与方法的依赖性,例如原子力、扫描电子与透射电子显微镜,以及电性测试。目前需要在众多检测工具上进行的分析,现在都可在单独一台机器上以更快的速度和更低的成本完成。

      Candela 7100系列正在接受领先存储技术公司日立环球存储技术公司 (HGST) 的认证。


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